稳定的真空控制，高真空

SVB51 系列

主要特性

维持高真空

可以在高真空下使用,

泄漏量小，使用安全

寿命&271;

&400;&376;座,

特殊包装(FKM材料),

通过表面处理延&271;产品寿命

维护容易

&400;&376;部件少，结构简单,

安装简单

不&152;&050;及特殊包装

DC线圈直动时噪音小

产品规格

项目

SVB51-12F-3

SVB51-12F-5

流体

真空,

不活泼气体

压力范围Pa(abs)

(Torr~kgf/cm)

3x10-6

~ 2x105

(10-8 ~ 1)

3x10-6

~ x105

(10-8 ~ 760Torr)

最大Seizure

0.2 (2)

0.1 (1)

泄漏量

&400;&376;底座

Pa.m/s He

(Torr.l/s He)

少于1.0

x 10-9 (7.5x10-9)

外部

少于1.3

x 10-9 (1.0x10-8)

内压

Mpa(kgf/cm2)

0.5 (5.0)

背压

Mpa(kgf/cm2)

0.1 (1)

0.02 (0.2)

使用流体温度

5 ~ 55

周围温度

0 ~ 55

孔

mm

8

12

CV

1.8

水平

/ 2.1 L方向

2.7

水平/

3.2 L

方向

频率

回/min以下

10

接合口径

Ø 48

法兰

粘接材料

垂直粘合

(线圈往上方向)

重量

kg

1.15